光学ガラス素子のプレス成形用型及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067839
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279036
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【目的】機械加工では困難な形状(例えば回折格子など)の光学ガラス素子を、繰り返しプレス成形することが可能なプレス成形用型及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】本発明の成形型は、高強度な母材11の上面に、加工層として、Si叉はSiO2薄膜12を形成し、該加工層12を所望の転写面形状に加工し、この面上に保護層15としてPt、Pd、Ir、Rh、Os、Ru、Re、W、Taのうち少なくとも1種類以上の金属を含む合金薄膜を形成した構成とする。加工層12は、例えば、ドライエッチング法により所望の形状に精密加工される。【効果】機械加工では困難な形状の光学ガラス素子のプレス成形用型が容易に得られ、又、型の繰り返し使用回数を大幅に増大でき、従来プレス成形では得られなかった光学ガラス素子を安価に、かつ大量に製造可能となった。

請求項（抜粋）：

母材にタングステンカーバイド(WC)を主成分とする超硬合金、チタンカーバイド(TiC)あるいはチタンナイトライド(TiN)を主成分とするサーメット、またはWC焼結体を用い、該母材上に中間層としてSiまたはSiO2薄膜を備え、該中間層上に白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、オスミウム(Os)、ルテニウム(Ru)、レニウム(Re)、タングステン(W)、タンタル(Ta)のうち少なくとも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜が形成されたことを特徴とする光学ガラス素子のプレス成形用型。

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