特許
J-GLOBAL ID：200903059243367565
走査型レーザー顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-009874
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196871
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 異方ブラッグ回折音響光学光偏向素子を用いる反射型走査型レーザー顕微鏡において、走査型レーザー顕微鏡の共焦点性を厳密に実現する。【構成】 光源1からの光が進む順に、異方ブラッグ回折音響光学光偏向素子4とガルバノミラー7とを配置して、物体S上で集束光束を2次元的に走査し、物体Sから散乱された光を検出する走査型レーザー顕微鏡において、物体Sからの散乱光をガルバノミラー7と異方ブラッグ回折音響光学光偏向素子4とを介して検出し、かつ、異方ブラッグ回折音響光学光偏向素子4を偏向通過した物体Sからの散乱光の集束面にピンホール12を移動自在に配置し、ピンホール12を散乱光の集束点の移動に追従させるようにする。
請求項（抜粋）：
光源からの光が進む順に、少なくとも、異方ブラッグ回折音響光学光偏向素子と第2の光偏向素子とを配置して、物体上で集束光束を2次元的に走査し、物体から散乱された光を検出する走査型レーザー顕微鏡において、物体からの散乱光を第2の光偏向素子と異方ブラッグ回折音響光学光偏向素子とを介して検出するようにし、かつ、異方ブラッグ回折音響光学光偏向素子を偏向通過した物体からの散乱光の集束面にピンホールを移動自在に配置し、ピンホールを散乱光の集束点の移動に追従させるようにしたことを特徴とする走査型レーザー顕微鏡。
IPC (2件)：
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