特許

J-GLOBAL ID：200903059244628800

ロボットハンド

発明者： 西 洋三
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 宇都宮 正明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-253890
公開番号（公開出願番号）：特開2003-062786
出願日： 2001年08月24日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 大型の基板を搬送するために十分な剛性を有し、かつ、なるべく小さなカセットに基板を出し入れすることができるロボットハンドを提供する。【解決手段】 たわみを生じる基板を搬送するためのロボットハンドであって、一端が搬送装置に固定された根本部1と、根本部の他端に固定され、一方の面の所定の位置において基板を支持するためのハンド部であって、基板のたわみを避けるために湾曲した断面形状を有するハンド部14とを具備する。

請求項（抜粋）：

たわみを生じる基板を搬送するためのロボットハンドであって、一端が搬送装置に固定された根本部と、前記根本部の他端に固定され、一方の面の所定の位置において前記基板を支持するためのハンド部であって、前記基板のたわみを避けるために湾曲した断面形状を有する前記ハンド部と、を具備するロボットハンド。

IPC (5件)：

B25J 15/08 ,  B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B25J 15/08 Z ,  B25J 15/06 M ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/68 A

Fターム (19件)：

3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007DS07 ,  3C007FS01 ,  3C007FT02 ,  3C007FT17 ,  3C007NS09 ,  3C007NS12 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA08 ,  5F031GA32 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18