特許
J-GLOBAL ID：200903059246896810
カラーフィルターの欠陥検査方法および欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002662
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208017
出願日： 1993年01月11日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】LCD等のカラーフィルターの欠陥検査を自動化することのできるカラーフィルターの欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供することを目的とする。【構成】透過照明装置8によりLCDカラーフィルター5を照射し、その透過光をカメラ2により電気信号に変換を行い、画像処理装置1に入力する。暗視野照明装置9によりLCDカラーフィルター6を照射し、その反射光をカメラ3により電気信号に変換を行い、画像処理装置1に入力する。明視野照明装置10によりLCDカラーフィルター7を照射し、その反射光をカメラ4により電気信号に変換を行い、画像処理装置1に入力する。画像処理装置1では、透過光をS変換とI変換を行った後、演算処理を行い白抜け欠陥を、またI変換を行った後、画像演算処理を行いCr欠陥を検出する。また傷・突起欠陥は暗視野光、ITO欠陥は明視野光で同様にして検出する。
請求項（抜粋）：
透明基板上に形成されたカラーフィルターの欠陥検査方法であって、照度あるいは透過率の異なる複数の照明を順次前記カラーフィルターおよびカラーフィルター周辺部に照射して、その反射光または透過光により得られる各画像情報を画像処理することにより前記カラーフィルターの欠陥を検査することを特徴とするカラーフィルターの欠陥検査方法。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, G01M 11/00
, G02F 1/1335 505
