特許
J-GLOBAL ID：200903059252480277
加圧装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-128264
公開番号（公開出願番号）：特開平6-315859
出願日： 1993年04月30日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【目的】 研磨ワークに付与する加工圧を微小に調整可能にする。【構成】 上軸部1により研磨ワーク4に研磨加圧力を付与する研磨装置における加圧装置において、上軸部1を上軸7とピストン部8と研磨ワーク保持具の支持杆10とにより形成し、少なくともピストン部8の一部と上軸7の一部をシリンダ部6に収容して上軸部1を上下動自在に支持するとともに、ピストン部8及び上軸1の外側とシリンダ部6との間にわずかな隙間1,2を設け、加圧操作用の気体によりピストン部8を下方に押圧しつつ上下隙間1,2に上記気体を流入し得るように構成した。隙間に介在する気体圧が一種の空気軸受を構成し、上軸部1とシリンダ部6との摺動抵抗を極めて小さくする。
請求項（抜粋）：
上軸部により研磨ワークに研磨加圧力を付与する研磨装置における加圧装置において、上軸部を上軸とピストン部と研磨ワーク保持具の支持杆とにより形成し、少なくともピストン部の一部と上軸の一部をシリンダ部に収容して上軸部を上下動自在に支持するとともに、ピストン部及び上軸の外側とシリンダ部との間にわずかな隙間を設け、加圧操作用の気体によりピストン部を下方に押圧しつつ上下隙間に上記気体を流入し得るように構成したことを特徴とする加圧装置。
引用特許：
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