特許
J-GLOBAL ID：200903059257749517
サンプルガス中の含有粒子のカウント方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328524
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165848
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】微小粒子のカウントを正確に行うことが行うことが可能なサンプルガス中の含有粒子のカウント方法を提供する。【解決手段】キャリブレーションを行うため、ソース41からのサンプルガスをバイパス管44に流し、多孔部材27で寸法制御粒子を付与すると共にソース51からの飽和蒸気を混合する。次に、この流体をコンデンサ53に通して冷却することにより、寸法制御粒子を核として飽和蒸気を凝縮させる。この際、カウンタ53の検出限界と寸法制御粒子の粒径とが対応するように、コンデンサ53を温度設定する。次に、実際の測定を行うため、ソース41からのサンプルガスをメイン管43に流し、飽和蒸気を混合して測定用流体を形成し、温度設定されたコンデンサ53及びカウンタ53を使用してサンプルガス中の含有粒子をカウントする。
請求項（抜粋）：
サンプルガスをフィルタに通して含有粒子を排除した後、前記サンプルガスに、所定粒径に設定した寸法制御粒子を付与すると共に前記サンプルガスに対して実質的に不活性な飽和蒸気を混合してキャリブレーション用流体を形成する工程と、ここで、前記寸法制御粒子は前記サンプルガス及び前記飽和蒸気に対して実質的に不活性であることと、前記寸法制御粒子を捕集した多孔部材を通過するように、前記サンプルガスを流すと共に、前記多孔部材に振動を付与することにより、前記寸法制御粒子を前記多孔部材から解放し、前記サンプルガス中に混入分散させることと、前記キャリブレーション用流体をコンデンサに通して冷却することにより、前記寸法制御粒子を核として前記飽和蒸気を凝縮させ、前記キャリブレーション用流体中に基準液滴を発生させる工程と、粒径に依存して検出限界を有するカウンタに前記基準液滴を含む前記キャリブレーション用流体を通しながら、前記コンデンサの温度を調整することにより、前記寸法制御粒子の前記所定粒径に依存する前記基準液滴の粒径と、前記カウンタの前記検出限界とを整合させるための前記コンデンサの設定温度を導出する工程と、前記コンデンサの前記設定温度を導出した後、前記サンプルガスと前記飽和蒸気とを混合して測定用流体を形成する工程と、前記設定温度を基準に温度設定した前記コンデンサに前記測定用流体を通して冷却することにより、前記サンプルガス中の含有粒子を核として前記飽和蒸気を凝縮させ、前記測定用流体中に測定用液滴を発生させる工程と、前記カウンタに前記測定用液滴を含む前記測定用流体を通して前記サンプルガス中に含まれる前記測定用液滴の数をカウントとする工程と、を具備することを特徴とするサンプルガス中の含有粒子のカウント方法。
IPC (2件)：
G01N 15/14
, G01N 1/00 102
G01N 15/14 A
, G01N 15/14 P
, G01N 1/00 102 A
