特許
J-GLOBAL ID：200903059258999029
空気の温湿度調整装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173085
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006636
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 超精密作業を行うためのクリーンルーム内に区切られた操作室への温湿度の調整された調整空気を供給するため、クリーンルームの室外に除湿機及び温湿度調整装置を備え、操作室に配管により連結する手段が採られている。しかしこの方法では、配管等の関係上、操作室の設置場所に制限がある等の問題がある。本発明は、該操作室に供給する空気の温湿度調整装置をユニット化してクリーンルーム内に設置することを可能とすることを目的とする。【解決手段】 処理空気の温湿度を調整し、これを操作室20に供給する空気の温湿度調整装置1において、処理空気を除湿してドライエアとする乾式除湿機2と、除湿された空気の温湿度を調整する温湿度調整機構3及び温湿度を調整された空気を送り出す送風機4とを備え、これらを1個の筐体5内に収納したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
処理空気の温湿度を調整し、これを操作室に供給する空気の温湿度調整装置において、処理空気を吸引し除湿してドライエアとする乾式除湿機と、除湿された空気の温湿度を調整する温湿度調整機構及び温湿度を調整された空気を送り出す送風機とを備え、これらを1個の筐体内に収納したことを特徴とする空気の温湿度調整装置。
IPC (2件)：
F24F 1/02 331
, F24F 7/06
F24F 1/02 331
, F24F 7/06 C
