特許

J-GLOBAL ID：200903059263054148

投影光学系

発明者： 松澤 均 ,  石井 幹彦 ,  田中 一政
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-311050
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166540
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】比較的広い露光領域と大きな開口数とを確保しつつ両側テレセントリックとしながらも、諸収差、特にディストーションを極めて良好に補正する。【構成】本発明の投影光学系は、物体側から順に、正の第1レンズ群G1、負の第2レンズ群G2、正の第3レンズ群G3、負の第4レンズ群G4、正の第5レンズ群G5及び正の第6レンズ群G6を有し、第2レンズ群G2は、負の前方レンズL2Fと負の後方レンズL2Rとの間の中間レンズ群G2M を含み、中間レンズ群G2M は、物体側から順に、正の第1レンズ、負の第2レンズ、負の第3レンズ及び負の第4レンズを少なくとも含むように構成される。そして、本発明は、第1〜第6レンズ群G1〜G6の好適な焦点距離範囲と、第2レンズ群G2の焦点距離に対する負の第2レンズから第4レンズまでの合成焦点距離の最適な範囲とを見出したものである。

請求項（抜粋）：

第1物体の像を第2物体上に投影する投影光学系において、前記投影光学系は、前記第1物体側から順に、正の屈折力を持つ第1レンズ群と、負の屈折力を持つ第2レンズ群と、正の屈折力を持つ第3レンズ群と、負の屈折力を持つ第4レンズ群と、正の屈折力を持つ第5レンズ群と、正の屈折力を第6レンズ群とを有し、前記第2レンズ群は、最も第1物体側に配置されて前記第2物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ前方レンズと、最も第2物体側に配置されて前記第1物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ後方レンズと、前記第2レンズ群中の前方レンズと前記第2レンズ群中の後方レンズとの間に配置される中間レンズ群を含み、前記中間レンズ群は、前記第1物体側から順に、正の屈折力を持つ第1レンズと、負の屈折力を持つ第2レンズと、負の屈折力を持つ第3レンズ、負の屈折力を持つ第4レンズとを少なくとも有し、前記第1レンズ群の焦点距離をf<SB>1 </SB>とし、前記第2レンズ群の焦点距離をf<SB>2</SB>、前記第3レンズ群の焦点距離をf<SB>3 </SB>、前記第4レンズ群の焦点距離をf<SB>4 </SB>、前記第5レンズ群の焦点距離をf<SB>5 </SB>、前記第6レンズ群の焦点距離をf<SB>6 </SB>、前記第2レンズ群中の前記第2レンズから前記第4レンズまでの合成焦点距離をf<SB>n </SB>、前記第1物体から前記第2物体までの距離をLとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする投影光学系。(1) 0.1<f<SB>1 </SB>/f<SB>3 </SB><17(2) 0.1<f<SB>2 </SB>/f<SB>4 </SB><14(3) 0.01<f<SB>5 </SB>/L<0.9(4) 0.02<f<SB>6 </SB>/L<1.6(5) 0.01<f<SB>n </SB>/f<SB>2 </SB><2.0