特許
J-GLOBAL ID:200903059265477305
縮合多環芳香族化合物薄膜の改質方法,縮合多環芳香族化合物薄膜,及び有機半導体素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-077029
公開番号(公開出願番号):特開2005-268449
出願日: 2004年03月17日
公開日(公表日): 2005年09月29日
要約:
【課題】 高い移動度を発現する有機半導体薄膜及びその製造方法を提供することを課題とする。また、電子特性の優れた有機半導体素子を提供することを併せて課題とする。【解決手段】 ペンタセン薄膜を1,2,4-トリクロロベンゼンの蒸気雰囲気中で加熱して、改質した。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
縮合多環芳香族化合物からなる薄膜を、該縮合多環芳香族化合物を溶解可能な有機化合物の蒸気雰囲気中で加熱することにより改質するに際して、前記有機化合物をハロゲン化炭化水素及び炭化水素の少なくとも一方としたことを特徴とする縮合多環芳香族化合物薄膜の改質方法。
IPC (7件):
H01L51/00
, B05D3/02
, H01L21/203
, H01L21/477
, H01L29/786
, H01L29/861
, H01L31/04
FI (7件):
H01L29/28
, B05D3/02 Z
, H01L21/203 Z
, H01L21/477
, H01L29/91 G
, H01L29/78 618B
, H01L31/04 D
Fターム (37件):
4D075BB26Y
, 4D075BB56Y
, 4D075DC22
, 4D075EB44
, 5F051AA11
, 5F103AA01
, 5F103AA08
, 5F103BB27
, 5F103DD25
, 5F103HH03
, 5F103HH04
, 5F103HH05
, 5F103NN01
, 5F103NN04
, 5F103NN05
, 5F110AA01
, 5F110AA05
, 5F110BB01
, 5F110CC03
, 5F110CC05
, 5F110CC10
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD03
, 5F110DD05
, 5F110DD13
, 5F110EE08
, 5F110FF02
, 5F110GG05
, 5F110GG19
, 5F110GG25
, 5F110GG42
, 5F110GG43
, 5F110GG58
, 5F110HK02
, 5F110HK04
, 5F110HK21
引用特許:
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