表面検査装置および表面検査方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 内藤浩樹 , 永野大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-352994
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155575
出願日： 2005年12月07日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】フラットディスプレイパネルの基板上に形成された塗布膜の表面形状を短時間で、低コストに検査可能な表面検査装置を提供する。【解決手段】基板11上に形成された塗布膜12の表面検査装置であって、点光源20と、点光源20から発せられた光の光路に設けられたハーフミラー21と、ハーフミラー21を経由した光を平行光に変換して塗布膜12の表面に照射するとともに塗布膜12の表面からの反射光を集光するように配置されたフレネルレンズ22と、フレネルレンズ22により集光されハーフミラー21により点光源20とは別の光路に導かれた反射光の集光結像された光学像を観察するCCDカメラ26とを有し、フレネルレンズ22より高い剛性を有する補強平板40がフレネルレンズ22に固定されることなくフレネルレンズ22の凹凸面に接して設けられている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板上に形成された塗布膜の表面検査装置であって、点光源と、前記点光源から発せられた光の光路に設けられたハーフミラーと、前記ハーフミラーを経由した前記光を平行光に変換して前記塗布膜の表面に照射するとともに前記塗布膜の表面からの反射光を集光するように配置されたフレネルレンズと、前記フレネルレンズにより集光され前記ハーフミラーにより前記点光源とは別の光路に導かれた前記反射光の集光結像された光学像を観察する観察手段とを有し、前記フレネルレンズより高い剛性を有する補強平板が前記フレネルレンズに固定されることなく前記フレネルレンズの凹凸面に接して設けられたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/88 Z , G01B11/30 A

Fターム (29件)：

2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065CC00 , 2F065CC31 , 2F065DD00 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065FF41 , 2F065GG02 , 2F065GG12 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065UU02 , 2G051AA42 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051BB01 , 2G051BB03 , 2G051BB09 , 2G051BB11 , 2G051CA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

特公昭63-19001号公報

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