正極の製造方法および電池の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤島洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-126995
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335192
出願日： 2003年05月02日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】高品質の正極および電池を効率よく作製することができる正極の製造方法および電池の製造方法を提供する。【解決手段】基板12Aを、対向配置された一対のターゲット25とターゲット26との間の対向領域外に配置し、直流放電スパッタにより、基板12AにLiと遷移金属とを含む複合酸化物層を成膜する。そののち、スパッタなどの乾式成膜法により酸化窒化リチウリンなどよりなる電解質を成膜する。そののち、電解質に抵抗加熱蒸着法などの乾式成膜法により金属Liよりなる負極を成膜する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

対向配置された一対のターゲット間にプラズマを発生させ、基板の上に、リチウム(Li)と遷移金属とを含む複合酸化物層を成膜する工程を含むことを特徴とする正極の製造方法。

IPC (7件)：

H01M4/04 , C01G51/00 , C23C14/06 , C23C14/34 , H01M4/02 , H01M4/58 , H01M10/40

FI (7件)：

H01M4/04 A , C01G51/00 A , C23C14/06 K , C23C14/34 D , H01M4/02 C , H01M4/58 , H01M10/40 Z

Fターム (41件)：

4G048AA04 , 4G048AB01 , 4G048AC06 , 4G048AD02 , 4G048AE05 , 4K029AA02 , 4K029AA25 , 4K029BA02 , 4K029BA41 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029CA06 , 4K029DB18 , 4K029DC32 , 5H029AJ03 , 5H029AJ14 , 5H029AK03 , 5H029AL12 , 5H029AM12 , 5H029AM16 , 5H029BJ03 , 5H029BJ12 , 5H029CJ24 , 5H029DJ09 , 5H029HJ12 , 5H050AA08 , 5H050AA19 , 5H050BA16 , 5H050BA17 , 5H050CA07 , 5H050CA08 , 5H050CA09 , 5H050CB12 , 5H050DA13 , 5H050FA02 , 5H050FA18 , 5H050GA24 , 5H050HA12

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