特許

J-GLOBAL ID：200903059276447637

表面抵抗測定装置

発明者： 藤田 浩 ,  窪田 隆弘 ,  柿田 裕次
出願人/特許権者： 東洋紡績株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-048295
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241470
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 導電膜表面を傷つけず、かつ導電膜上の被測定部の調節およびパスライン変動による測定誤差の抑制が可能な導電膜の表面抵抗測定装置を提供する。【解決手段】 導電膜の表面抵抗を測定する表面抵抗測定装置であって、前記導電膜から離隔して配置される第1および第2の電極と、前記第1および第2の電極の間に交流電圧を印加する交流電源と、前記導電膜に流れる電流に基づいて前記導電膜の表面抵抗を算出する算出手段とを備え、該第1および第2の電極は、絶縁または誘電基板および前記導電膜を前記導電膜に接触しながら搬送するための絶縁または誘電性の搬送ローラ内に埋設されることを特徴とする表面抵抗測定装置。

請求項（抜粋）：

導電膜の表面抵抗を測定する表面抵抗測定装置であって、前記導電膜から離隔して配置される第1および第2の電極と、前記第1および第2の電極の間に交流電圧を印加する交流電源と、前記導電膜に流れる電流に基づいて前記導電膜の表面抵抗を算出する算出手段とを備え、該第1および第2の電極は、絶縁または誘電基板および前記導電膜を前記導電膜に接触しながら搬送するための絶縁または誘電性の搬送ローラ内に埋設されることを特徴とする表面抵抗測定装置。

IPC (2件)：

G01R 27/02 ,  G01R 31/00

FI (2件)：

G01R 27/02 R ,  G01R 31/00

Fターム (19件)：

2G028AA02 ,  2G028AA04 ,  2G028BB20 ,  2G028BC02 ,  2G028CG02 ,  2G028DH04 ,  2G028EJ10 ,  2G028FK10 ,  2G028HM04 ,  2G028HM05 ,  2G028HM08 ,  2G028HN01 ,  2G028JP02 ,  2G036AA03 ,  2G036BA33 ,  2G036BA46 ,  2G036BB22 ,  2G036CA01 ,  2G036CA03