特許
J-GLOBAL ID：200903059288740852
フィゾー型干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019097
公開番号（公開出願番号）：特開平6-185997
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 可干渉距離の短い光源を用いたときでも、干渉パターンのコントラストが常に良好で、レンズ面の面精度や光学系の波面収差を高精度に測定できるフィゾー型干渉計を提供すること。【構成】 複数の波長のレーザ光を供給するレーザ光源1からのレーザ光を参照光と計測光とに分離するフィゾー面F1 と、計測光を再びフィゾー面に向けて反射させる反射面6との間に、波面収差を測定すべき被検レンズ5を配置する。このとき、フィゾー面F1 と反射面6との間の光路長L1 の2倍の長さが、レーザ光源1の複数の波長間の概略公倍数となるように構成する。
請求項（抜粋）：
互いに異なる複数の波長のレーザ光を供給するレーザ光源と、該レーザ光源から供給されるレーザ光を参照光と計測光とに分離して、該計測光を被検光学系に入射させるフィゾー面と、前記被検光学系を介した前記計測光を再び前記フィゾー面に再入射させるように反射する反射面とを有し、前記計測光と前記参照光とを干渉させて、前記被検光学系の波面収差を測定するフィゾー型干渉計において、前記フィゾー面と前記反射面との間の光路長の2倍の長さは、前記複数の波長間の概略公倍数であることを特徴とするフィゾー型干渉計。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G01B 11/30 102
