磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001640
公開番号（公開出願番号）：特開2001-191248
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
要約：

【要約】【課題】被研磨物の歪み及び湾曲をより精度良く修正することが出来るできる磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法を提供する。【解決手段】治具50により保持され磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気ヘッドの研磨装置であって、回転駆動される研磨面を有する回転研磨用テーブル11,102と、この回転研磨用テーブルの研磨面に対して移動可能に配置された研磨装置本体部20,300と、を有し、この研磨装置本体は、この研磨装置本体部の下方側に設けられ治具を保持する治具保持部23,190と、治具の長手方向に沿って設けられた複数の荷重付加部に所定の荷重をそれぞれ付加する荷重付加手段306,308,310と、を有し、荷重付加手段は、治具を所定形状に変形させるために、荷重付加部の内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加する。

請求項（抜粋）：

治具により保持され磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気ヘッドの研磨装置において、回転駆動される研磨面を有する回転研磨用テーブルと、この回転研磨用テーブルの研磨面に対して移動可能に配置された研磨装置本体部と、を有し、この研磨装置本体は、この研磨装置本体部の下方側に設けられ上記治具を保持する治具保持部と、上記治具の長手方向に沿って設けられた複数の荷重付加部に所定の荷重をそれぞれ付加する荷重付加手段と、を有し、上記荷重付加手段は、上記治具を所定形状に変形させるために、上記荷重付加部の内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加することを特徴とする磁気ヘッドの研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 37/04 , B24B 37/00 , G11B 5/127 , G11B 5/187

FI (4件)：

B24B 37/04 E , B24B 37/00 B , G11B 5/127 Q , G11B 5/187 Q

Fターム (13件)：

3C058AA07 , 3C058AA12 , 3C058AB09 , 3C058CB01 , 3C058DA16 , 5D093AB01 , 5D093AC01 , 5D093AC04 , 5D093AC05 , 5D093FA22 , 5D093FA26 , 5D111GG12 , 5D111JJ24

引用特許：

出願人引用 (6件)

磁気ヘッドの加工制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-304686 出願人：日立金属株式会社
特開平4-053672
特許第2861291号

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