特許

J-GLOBAL ID：200903059291134165

安全扉及び安全扉を備える半導体の製造又は検査のための装置

発明者： 平沼 一則 ,  萬福 康広 ,  高階 護
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278510
公開番号（公開出願番号）：特開2000-226964
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】 挟み込みによって手指が押しつぶされることによる怪我等の発生を回避することができる安全扉及びそのような安全扉を備える半導体の製造又は検査のための装置を提供すること。【解決手段】 本発明の安全扉を備える半導体の製造又は検査のための装置は、半導体を製造又は検査するための装置本体と、同装置本体に設けられた開口部と、駆動装置によって一つの軸線に沿って駆動され、開口部の一部分を覆う第一扉と、軸線に沿って第一扉に向かって付勢され、開口部の一部分を覆う第二扉とを備える。開口部を閉鎖するときに自動扉に手指を挟んだ場合には、付勢されただけの状態で開口部の一部分を閉鎖している第二扉が第一扉の駆動方向へ移動すると共に、第一扉が開口部の一部分のみを覆う位置で停止するので、手指には第二扉を付勢する圧力しか作用せず、手指を押しつぶす危険性を回避することができる。

請求項（抜粋）：

半導体を製造又は検査するための装置本体と、前記装置本体に設けられた開口部と、駆動装置によって一つの軸線に沿って駆動され、前記開口部の一部分を覆う第一扉と、前記軸線に沿って前記第一扉に向かって付勢されており、前記開口部の一部分を覆う第二扉とを備え、前記第一扉と前記第二扉とによって前記開口部を閉鎖することを特徴とする、安全扉を備える半導体の製造又は検査のための装置。

IPC (3件)：

E05F 7/00 ,  B01J 19/00 ,  E05F 15/04

FI (3件)：

E05F 7/00 B ,  B01J 19/00 G ,  E05F 15/04