特許
J-GLOBAL ID：200903059302667381
リークテスト装置およびリークテスト方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
萼 経夫
, 宮崎 嘉夫
, 小野塚 薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-047348
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212373
出願日： 2003年02月25日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】簡単な構成で、ワークの漏洩の有無を確実に判定することが可能なリークテスト装置およびリークテスト方法を提供する。【解決手段】リークテスト装置は、外側に開口する開口部Woを有する中空状のワークWの漏洩を検査するための装置であって、ワークWの開口部Woを密閉する密閉手段としてのマスキング治具1と、このマスキング治具1により密閉されたワークW内に検査流体を供給する供給手段2と、ワークWの周囲を囲繞してワークW内から漏洩した検査流体の拡散を防止して収集するチャンバ3と、収集された検査流体の濃度を測定することにより検査流体を検知する検知手段4と、検査流体を検知手段4に向けて強制的に流動させる流動手段としてのファン5と、を備えている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
中空状のワークの漏洩を検査するリークテスト装置であって、
ワークの開口部を密閉する密閉手段と、
該密閉手段により密閉されたワーク内に検査流体を供給する供給手段と、
ワーク全体の周囲を囲繞してワーク内から漏洩した検査流体の拡散を防止して収集するチャンバと、
該チャンバによって収集された検査流体を検知する検知手段と、
を備えたことを特徴とするリークテスト装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2G067AA25
, 2G067BB01
, 2G067BB34
, 2G067CC18
, 2G067DD18
