特許
J-GLOBAL ID：200903059306718738
基板アライメント装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-256845
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124997
出願日： 1994年10月21日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 基板カセットの全スロット内の基板検出を一気に行い、装置のスループットを向上すると共にマイクロスイッチのような接触形センサを使用して基板エッジの形状に無関係に基板を安定に検出し、信頼性を向上させる。【構成】 複数枚の基板3が収納された基板カセットのスロット間隔と同じ間隔Lで、複数個のマイクロスイッチ8をスペーサ9を介在させて棒状に連結してアライメント棒10を形成し、このアライメント棒10には基板カセットのスロット内の基板3に各マイクロスイッチ8を押付けるアクチュエータ、例えばシリンダ5を連結してなる。
請求項（抜粋）：
液晶ディスプレイ製造装置において、基板アライメント機構に基板検出機構を組込み、基板アライメントと同時に基板検出を行うことを特徴とする基板アライメント装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, G02F 1/13 101
