特許
J-GLOBAL ID：200903059314795393
走査型顕微鏡のマイクロチップ付きカンチレバー及びマイクロチップの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-167126
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011335
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、走査中にマイクロチップ2が摩耗するのを防止するとともに、マイクロチップ2が試料表面に吸着するのを防止して、試料表面を安定的に測定することを目的とするものである。【構成】 マイクロチップ2の中心部2aを硬度の高いセラミックで構成し、かつマイクロチップ2の表面部2bに金属コーティング又は硬質グラファイトコーティングを施した。
請求項（抜粋）：
カンチレバーと、このカンチレバー上に設けられているマイクロチップとを備えている走査型顕微鏡のマイクロチップ付きカンチレバーにおいて、上記マイクロチップは、中心部がセラミックで構成されており、かつ表面部が金属コーティングされていることを特徴とする走査型顕微鏡のマイクロチップ付きカンチレバー。
IPC (2件)：
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