ロータリーエンコーダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-247589
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194190
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】装置全体の簡素化及び小型化を図りつつ、高精度な回転情報が得られる回折光干渉方式のロータリーエンコーダを得ること。【構成】光源手段からの光束を相対回転するディスクの周囲に形成した微細格子上の点P1に入射させ、該点P1で回折した所定次数の2つの回折光を第1回折格子により回折偏向させて光路を互いに交差させた後に第2回折格子で回折偏向させて該ディスクの微細格子上の点P2に入射させ、該点P2で回折した所定次数の2つの回折光を重ね合わせた状態で受光手段に導光し、該受光手段で得られる干渉信号を利用して該ディスクの回転情報を検出するようにしたこと。

請求項（抜粋）：

光源手段からの光束を相対回転するディスクの周囲に形成した微細格子上の点P1に入射させ、該点P1で回折した所定次数の2つの回折光を第1回折格子により回折偏向させて光路を互いに交差させた後に第2回折格子で回折偏向させて該ディスクの微細格子上の点P2に入射させ、該点P2で回折した所定次数の2つの回折光を重ね合わせた状態で受光手段に導光し、該受光手段で得られる干渉信号を利用して該ディスクの回転情報を検出するようにしたことを特徴とするロータリーエンコーダ。

IPC (2件)：

G01D 5/38 , G01B 11/26

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-002624
特開昭63-091515
特開昭61-066926

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