ガラス基板の吸着機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-175191
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043807
出願日： 1994年07月27日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】ガラス基板の反りや撓みを防止してガラス基板のいずれの部分での光学センサの検出能力を一定にでき、吸着固定できなくなるのを防止し得るガラス基板の吸着機構を提供する。【構成】バキュームチャック2の開口部をガラス基板9上のカラーフィルタやパネルの多面取りの形状に対応させ、吸着のための真空引き用の溝6をバキュームチャック2に形成することにより、ガラス基板9の反りや撓みを防止する。

請求項（抜粋）：

液晶用のカラーフィルタなどのガラス基板を検査する検査装置において、前記ガラス基板を治具に吸着するための吸着機構であって、前記ガラス基板上のカラーフィルタやパネルの多面取りの形状に対応し、吸着のための真空引き用の溝を前記治具に形成したことを特徴とする、ガラス基板の吸着機構。

IPC (6件)：

G02F 1/1333 500 , B65G 49/06 , G01B 11/30 , G02B 5/20 101 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1335 505

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