試料保持方法、試料回転方法及び試料表面の流体処理方法並びにそれらの装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-283071
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129587
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】ベルヌ-イ保持具において簡単な試料保持ガイドで安定保持を、流体の噴射で試料回転を達成することにより、装置が小形で、清浄性の高い、流体処理装置を実現する。【解決手段】試料保持面と機械的に分離した保持ガイドを設け、流体を噴射することにより試料を接触保持し、この試料ガイドを流体の噴射で非接触回転させる。保持具に流体供給源(18)、(19)、(20)を接続して、試料(1)に1以上の流体を供給する。試料ガイド(8)が試料(1)の接線方向への位置ずれが抑制されるため、1つの機構で各種流体の連続処理が、空気と非接触で行える。この試料ガイド(1)を流体の噴射で回転するので、駆動モ-タ、機構部品を不要とし、装置の大幅な小型化を実現する。

請求項（抜粋）：

保持すべき試料と、当該試料に対向する試料保持面との間に流体を流すことで生じるベルヌ-イ効果を利用して、当該試料を保持する試料保持方法において、試料保持面に対する試料の位置ずれを抑制すべき方向で、当該試料保持面と機械的に分離してなる試料ガイドを設け、当該試料と当該試料保持面との間で生じるベルヌ-イ効果を利用して、前記試料を前記試料ガイドに接触保持することを特徴とする試料保持方法。

IPC (5件)：

H01L 21/304 351 , H01L 21/304 341 , B23Q 3/08 , G11B 5/84 , H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/304 351 S , H01L 21/304 341 C , B23Q 3/08 Z , G11B 5/84 Z , H01L 21/68 N

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平2-303047
特開平4-212421
特開平1-127538

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審査官引用 (14件)

特開平2-303047
特開平2-303047
特開平4-212421

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