特許
J-GLOBAL ID：200903059346093374
検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182705
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026839
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【構成】 ライン状ライトガイド1から検査対象5を照明し反射光をラインCCDカメラ3で受光し、検査対象の欠陥を検出する装置であって、検査対象5とライン状ライトガイドの光出射端11とが、ライン状ライトガイドのライン巾とラインCCDカメラ3が1ライン走査期間に検査対象が移動する距離とを加算した距離の100倍以上の距離Lだけ離されて配置されている。【効果】 光ファイバも用いたライン状ライトガイドにより検査対象を照明し、その正反射光をラインセンサにより、観測することにより魔鏡の原理を用いた異物、傷等の凹凸検出が可能となる。
請求項（抜粋）：
光ファイバを用いたライン状ライトガイドから、相対的に移動する検査対象を照明しその反射光をラインセンサで受光し、検査対象の欠陥を検出する装置において、該ラインセンサが、ライン状ライトガイドからの出射光のライン方向垂直面成分のうち、最も大きな光成分に対する検査対象上での正反射光を受光できる位置に配置され、該検査対象と該ライン状ライトガイドの光出射端とが、ライン状ライトガイドのライン巾とラインセンサが1ライン走査期間に検査対象が移動する距離とを加算した距離の100倍以上の距離だけ離されて配置されていることを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
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