マイクロ流体操作部材

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-232990
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202678
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】簡便な製造工程で高アスペクト比の流路にも対応でき、大量生産を実現し、安価なマイクロ流体操作部材を提供する。【解決手段】基板上にマイクロ流路が形成された層を有することを特徴とするマイクロ流体操作部材であり、該部材を得るための製造方法に関し、無機微粒子と感光性成分を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストを基板上に塗布した後、フォトマスクを介して露光を行い、これらの塗布、露光を1回または数回繰り返して積層し、露光されていない部分を現像により溶出してパターンを形成した後、焼成により有機成分を除去して形成したマイクロ流路を有することを特徴とするマイクロ流体操作部材の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上にマイクロ流路が形成された層を有することを特徴とするマイクロ流体操作部材。

IPC (7件)：

G03F 7/40 501 , B01J 19/00 321 , B81B 1/00 , B81C 1/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 513 , G01N 37/00 101

FI (7件)：

G03F 7/40 501 , B01J 19/00 321 , B81B 1/00 , B81C 1/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 513 , G01N 37/00 101

Fターム (29件)：

2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC45 , 2H025BC66 , 2H025CA01 , 2H025CA28 , 2H025CB43 , 2H025CC08 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA30 , 2H096BA05 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096LA16 , 4G075AA13 , 4G075AA39 , 4G075BA10 , 4G075BB05 , 4G075CA12 , 4G075DA02 , 4G075EE21 , 4G075FB06

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