特許
J-GLOBAL ID：200903059355903230
リードの欠陥部分検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-276889
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090367
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 リードに生じた突起や欠損などの欠陥部分を正確に検出する。【構成】 長尺に形成されたリードの長手方向に沿った周縁における欠損、突起などの欠陥部分をパターン認識によって検出する際に用いるオペレータとして、長径Lと、該長径Lに対して相対的に短い短径aとからなる長円型のオペレータ17を用い、このオペレータ17の長径L方向を前記原パターン30の長手方向に沿わせた状態で該オペレータ17により前記リードをパターン化した原パターン30を走査しつつ、該原パターン30の各ピクセルに対し縮小もしくは拡大の近傍論理演算を順次実行し、この最終演算結果から得られる出力パターン32と前記原パターン30とを比較して欠陥パターン33を抽出するようにした。
請求項（抜粋）：
長尺に形成されたリードの長手方向に沿った周縁における欠損、突起などの欠陥部分を、前記リードをパターン化した原パターンに対して論理フィルタとしてのオペレータを作用させてパターン認識により検出する方法であって、前記オペレータを、一方向が相対的に長く前記一方向に直交する他方向が相対的に短い長形オペレータとし、前記長形オペレータの前記一方向を前記リードの長手方向に沿わせた状態で、該長形オペレータにより前記リードの原パターンを走査しつつ、該リードの原パターンに対し縮小もしくは拡大の近傍論理演算を順次実行し、前記縮小もしくは拡大の近傍論理演算の最終演算結果から得られる出力パターンと前記原パターンとを比較して、前記リードにおける欠陥部分のパターンを抽出するようにした、ことを特徴とするリードの欠陥部分検出方法。
IPC (2件)：
H01L 21/66
, G06F 15/62 405
