特許
J-GLOBAL ID：200903059361397053

圧電振動デバイス

発明者：
前田 浩

前田 浩 について


出願人/特許権者：
株式会社大真空

株式会社大真空 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-174320
公開番号（公開出願番号）：特開2008-005333
出願日： 2006年06月23日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：
【課題】 圧電振動板に生じる各種スプリアス振動を効率的に抑制し、最適な特性調整を行うことのできる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。【解決手段】 水晶振動板1は平板状のATカット水晶振動素子からなり、表裏面の中央領域に各々励振電極11,12および各励振電極とつながる引出電極111,121が形成されている。励振電極の第1の領域110はその上面(表面)がクロム層からなり、ドライエッチングにおけるエッチングレートが比較的小さい材料からなっている。第2の領域11A,11B,11C,11Dはその上面(表面)が銀層からなり、前記第1の領域(クロム層)よりエッチングレートが大きい材料からなっている。以上の構成の水晶振動板に対し、励振電極に対してエッチング処理を行うことにより特性の調整を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電振動板の表裏主面に対向して金属膜からなる励振電極が形成されるとともに、当該励振電極の上面の一部にエッチングレートの異なる金属膜を形成したことを特徴とする圧電振動デバイス。
IPC (4件)：
H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (4件)：
H03H9/19 F ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (7件)：
5J108AA01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC02 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108FF03 ,  5J108KK02
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 高周波圧電振動子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-001433   出願人：東洋通信機株式会社
  • 圧電振動デバイス
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-138833   出願人：株式会社大真空
審査官引用 (10件)
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