特許

J-GLOBAL ID：200903059362913381

蒸気乾燥法

発明者： ジョン・ジー・フランカ ,  ゲーリー・エー・デピント ,  ロス・エー・フィッシャー ,  ハリー・エス・モーガン
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202062
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097149
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 イソプロピルアルコール蒸気の多方向の流れを利用して、半導体基板を均等に乾燥する。【構成】 本発明の一実施例では、外部蒸気源30で発生したイソプロピル・アルコール19を、蒸気乾燥システムの半導体基板20の上部28付近の位置に噴射する一方、システム内部で発生したイソプロピルアルコール蒸気18を半導体基板20の下部26に向かわせる。したがって、半導体基板20の上部28および下部26の両方がほぼ同時に乾燥する。

請求項（抜粋）：

底面を有するタンク(12,42)を装備する段階;上部(28,58),下部(26,56)および主要表面を有しており、表面に液体が存在する物体(20,50)を設ける段階;物体(20,50)の主要表面がタンク(12,42)の底部表面に対しほぼ直角を成すように、物体(20,50)をタンク(12,42)内に配置する段階;物体(20,50)の下部(26,56)および上部(28,58)がほぼ同時に蒸気(19,18,48)に曝されるように、物体(20,50)を乾燥媒体の多方向蒸気(19,18,48)流に曝す段階;および物体(20,50)の上部(28,58)および下部(26,56)に蒸気(19,18,48)を凝結させて、物体から液体を除去する段階;によって構成されることを特徴とする蒸気乾燥法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 361 ,  F26B 3/04