特許

J-GLOBAL ID：200903059369984128

窒化アルミニウム質焼結体およびそれを用いた静電チャック

発明者： 会田 比呂史
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-312598
公開番号（公開出願番号）：特開2000-143349
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】【課題】0〜50°Cにおける体積固有抵抗値が108 〜1012Ω・cmであり、200°C以下の温度においてジョンソン・ラーベック力による高い吸着力が得られる窒化アルミニウム質焼結体およびそれを用いた静電チャックを提供する。【解決手段】窒化アルミニウムを主成分とし、窒化チタンを10〜30モル%と、セリウムを酸化物(CeO2 )換算で5〜20モル%と、全酸素量からCeにCeO2 として結合している酸素量を差し引いた残りの酸素量をAl2 O3 換算して0.3〜10モル%との割合で含有してなる窒化アルミニウム質セラミック焼結体を静電チャック1として用いる。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムを主成分とし、窒化チタンを10〜30モル%と、セリウムを酸化物(CeO2 )換算で5〜20モル%と、全酸素量からCeにCeO2 として結合している酸素量を差し引いた残りの酸素量をAl2 O3 換算して0.3〜10モル%との割合で含有してなることを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/581 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

C04B 35/58 104 B ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/68 R

Fターム (23件)：

4G001BA03 ,  4G001BA11 ,  4G001BA36 ,  4G001BA38 ,  4G001BB03 ,  4G001BB11 ,  4G001BB36 ,  4G001BB38 ,  4G001BC13 ,  4G001BD03 ,  4G001BD12 ,  4G001BD14 ,  4G001BD22 ,  4G001BD23 ,  4G001BD37 ,  4G001BD38 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031MA27 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-314953   出願人：京セラ株式会社