斜光照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-087123
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246857
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】光学機器の落射(同軸)照明との組み合わせによる斜光照明によって、被検物体を斜めから照明することで構成上シンプルで、かつ低価格の光学機器を提供する。【解決手段】本発明の基本構成にかかる斜光照明装置は光学機器に適用した例を示すものであり、図示される基本構成は、対物レンズ(1)の上部位に垂直落射照明用のハーフミラー(2)を位置させ、さらに上部に中間結像レンズ(3)を順に配設した構成に於いて、ハーフミラー(2)下部寄りに可動変調できる第1空間フィルター(4)を備え、さらにハーフミラー(2)の対応部位には光源(5)、コンデンサーレンズ(6)等を有する垂直落射照明装置(7)を形成した構成としている。

請求項（抜粋）：

光学機器に於ける斜光照明装置は、対物レンズの上位にハーフミラー、中間結像レンズ、結像面の順に配したハーフミラー部に、光源を対応させて形成される垂直落斜照明装置とし、かつ対物レンズとハーフミラーの間に第1空間フィルターを備えた構成である斜光照明装置。

IPC (3件)：

G02B 21/06 , G01N 21/84 , G02B 21/00

FI (3件)：

G02B 21/06 , G01N 21/84 E , G02B 21/00

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