特許

J-GLOBAL ID：200903059381740587

露光データの圧縮方法

発明者： 吉田 宏一
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231007
公開番号（公開出願番号）：特開平11-066323
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】露光データのデータ量を十分に圧縮し得る露光データ圧縮方法を提供する。【解決手段】露光パターン11に対応した図形を線分LA(LA1〜LA6)に分解し、該線分LAの始点及び終点の端点座標データを露光データとしてデータ格納手段に格納する。

請求項（抜粋）：

露光パターンに対応した図形を線分に分解し、該線分の端点座標データを露光データとしてデータ格納手段に格納することを特徴とする露光データの圧縮方法。

IPC (4件)：

G06T 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H04N 1/41 ,  G06T 1/00

FI (4件)：

G06F 15/66 330 Q ,  H04N 1/41 Z ,  H01L 21/30 541 Z ,  G06F 15/64 D