特許

J-GLOBAL ID：200903059383260833

ダイヤモンドCVD成長用基板

発明者： 古滝 敏郎 ,  砂川 和彦
出願人/特許権者： 並木精密宝石株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-316590
公開番号（公開出願番号）：特開2006-124249
出願日： 2004年10月29日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】 ダイヤモンド基材の継ぎ目の直上部分における、CVDダイヤモンドの機械的強度を高めること。【解決手段】ダイヤモンド基材2の主面が(001)面と略平行な面を有し、該ダイヤモンド基材2の4つの側面として(010)面と略平行な結晶面および(100)面と略平行な結晶面とを各々2面ずつ有し、該ダイヤモンド基材2の主面を共有するように複数の該ダイヤモンド基材2を配置し、該主面が単一の表面を有するようにしたダイヤモンドCVD成長用基板1であって、該ダイヤモンド基材2の主面は(001)面から<110>方向に0.05°〜10°オフアングルされた同一の面を各々有し、かつ該ダイヤモンド基材2の主面の公差が±0.05°以下であることを特徴とするダイヤモンドCVD成長用基板1である。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド基材の主面が(001)面と略平行な面を有し、 該ダイヤモンド基材の4つの側面として(010)面と略平行な結晶面および(100)面と略平行な結晶面とを各々2面ずつ有し、 該ダイヤモンド基材の主面を共有するように複数の該ダイヤモンド基材を配置し、 該主面が単一の表面を有するようにしたダイヤモンドCVD成長用基板であって、 該ダイヤモンド基材の主面は(001)面から<110>方向に0.05°〜10°オフアングルされた同一の面を各々有し、 かつ該ダイヤモンド基材の主面の公差が±0.05°以下であることを特徴とするダイヤモンドCVD成長用基板。

IPC (1件)：

C30B 29/04

FI (1件)：

C30B29/04 P

Fターム (9件)：

4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB01 ,  4G077ED04 ,  4G077ED05 ,  4G077HA13 ,  4G077HA14 ,  4G077TK06 ,  4G077TK13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭63-224225号公報