薄膜形成装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-031022
公開番号（公開出願番号）：特開平8-224526
出願日： 1995年02月20日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【目的】高速に薄膜を形成することができてリードタイム確保すると共に、安定した品質の被薄膜形成部材の作り込みが出来る薄膜形成装置を提供すること。【構成】チャック爪12a,b,cによって把持されたレンズ13の両側から、薬液ノズル14a,b、15a,bによって薄膜形成用の薬液を吐出させる。この時、レンズ13は回転本体31とこれに接続されたチャック爪12a,b,cの回転に伴って回転している。一方、ワンウェイクラッチ25を介して接続されたロータリーアクチエーター26の回転は回転部品23を介して溝カムに伝達されチャック爪12a,b,cを開閉する。ただし、サーボモーター1の回転は、ワンウェイクラッチ25によってロータリーアクチエーター26には伝達されない。

請求項（抜粋）：

被薄膜形成部材に向けて薄膜形成用の薬液を吐出し、前記被薄膜形成部材を回転させることにより前記被薄膜形成部材表面に薄膜を形成する薄膜形成装置において、前記被薄膜形成部材の表側と裏側の両面に向けて薄膜形成用の薬液を吐出するための複数個のノズルと、前記被薄膜形成部材の表側と裏側のいずれか一方の側に設けられ前記被薄膜形成部材を把持・解放する把持用部材と、この把持用部材を自動的に開閉させる機構部を有することを特徴とする薄膜形成装置。

IPC (3件)：

B05C 11/08 , H01L 21/027 , H01L 21/31

FI (3件)：

B05C 11/08 , H01L 21/31 A , H01L 21/30 564 C

前のページに戻る