特許

J-GLOBAL ID：200903059386875529

波長計測装置

発明者： 芳野 俊彦 ,  米山 誠秀 ,  佐野 安一
出願人/特許権者： 芳野 俊彦 ,  富士電機株式会社
代理人 (1件)： 森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-209115
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021576
出願日： 2001年07月10日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】 SLD等の広帯域光源が持つスペクトラルリップルを等価的になくして波長計測精度を高める。【解決手段】 温度により発光スペクトラムが変化する広帯域光源の温度を第1の設定温度に保つ手段と、第1の設定温度のもとで光フィルタから出力される光信号を受光素子により電気信号に変換してその信号を第1の電気信号として記憶する手段と、広帯域光源の温度を第2の設定温度に保つ手段と、第2の設定温度のもとで光フィルタから出力される光信号を受光素子により電気信号に変換してその信号を第2の電気信号として記憶する手段と、第1及び第2の電気信号を加算して第3の電気信号を求める手段と、第3の電気信号を用いてセンサの透過光スペクトラムまたは反射光スペクトラムを演算処理により求める手段と、を備える。

請求項（抜粋）：

広帯域光源の光をセンサに入射し、その透過光スペクトラムまたは反射光スペクトラムを光フィルタ及び受光素子を介し検出して透過光または反射光の波長を計測する波長計測装置において、温度により発光スペクトラムが変化する前記広帯域光源の温度を第1の設定温度に保つ手段と、第1の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される光信号を前記受光素子により電気信号に変換してその信号を第1の電気信号として記憶する手段と、前記広帯域光源の温度を第2の設定温度に保つ手段と、第2の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される光信号を前記受光素子により電気信号に変換してその信号を第2の電気信号として記憶する手段と、第1の電気信号と第2の電気信号とを加算して第3の電気信号を求める手段と、第3の電気信号を用いて前記センサの透過光スペクトラムまたは反射光スペクトラムを演算処理により求める手段と、を備えたことを特徴とする波長計測装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 ,  G01J 3/18

FI (2件)：

G01M 11/00 U ,  G01J 3/18

Fターム (9件)：

2G020BA20 ,  2G020CB23 ,  2G020CC06 ,  2G020CD12 ,  2G020CD13 ,  2G020CD24 ,  2G020CD34 ,  2G086DD04 ,  2G086DD05