特許
J-GLOBAL ID：200903059392309608
液晶用基板の位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-201192
公開番号（公開出願番号）：特開平7-033232
出願日： 1993年07月20日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】基板を液晶製造プロセス装置内の処理室に搬送する際、基板の中心位置と回転方向のズレを全自動で、かつ基板に外力を加えること無く補正する。【構成】旋回およびXY平面上を移動するターンテーブル2と、基板2の吸着機構と、リフター10と、Y方向に並べられたX方向に駆動される2個のセンサー7a,7bと、前記2個のセンサーの移動量検出器と、前記2個のセンサーが基板のエッヂ位置を検出するまでの移動量の差から基板2の旋回方向ズレ量を演算する手段と、Y方向に駆動されるセンサー7d,7eと、前記旋回方向ズレ量を前記ターンテーブル2を回転させることによって修正した後前記X方向センサーとY方向センサーとによって基板の中心位置のズレ量を検出・演算し前記リフター10とターンテーブル2とによって基板の中心位置を修正する制御回路とを備えた液晶用基板の位置決め装置。
請求項（抜粋）：
旋回およびXY平面上を移動するターンテーブルと、前記ターンテーブル上に液晶用基板を固定するための吸着機構と、前記ターンテーブルから前記液晶用基板を浮かすためのリフターと、前記液晶用基板の4辺のうち1辺のエッジの位置を検出する同一駆動機構上のY方向に配置された第1および第2のX方向センサーと、前記第1および第2のセンサーをX方向に移動するための第1の駆動源と、前記2個のセンサーを載置する前記駆動機構の移動量を計測するための検出器と、前記液晶用基板の他の辺のエッジの位置を検出するためのY方向センサーと、前記Y方向センサーをY方向に移動するための第2の駆動源と、前記Y方向センサーの基準位置から前記液晶用基板の他の辺のエッジの検出位置までの移動量を計測するための検出器と、前記2個のX方向センサーのうちの一方が前記前記液晶用基板のエッジの位置を検出してから他方のX方向センサーがエッジを検出するまでの移動量から前記液晶用基板の旋回方向の修正量を算出する演算手段と、前記演算手段の出力によって前記ターンテーブルを旋回させた後に前記X方向センサーと前記Y方向センサーとによって前記液晶用基板のX方向Y方向の各エッジ位置を検出して検出結果から前記液晶用基板の中心位置のズレ量を演算し前記中心位置ズレ量演算結果によって前記リフターと前記ターンテーブルとを駆動して前記液晶用基板を中心位置に移動させる制御回路とを備えた液晶用基板の位置決め装置。
IPC (5件)：
B65G 43/00
, B65G 47/88
, B65G 49/06
, G05D 3/12
, H05K 13/04
