特許

J-GLOBAL ID：200903059400172951

ウェーハ取出装置

発明者： 中浦 健一
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-269842
公開番号（公開出願番号）：特開平10-114426
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】水中に浸漬されたカセット内に多数枚積み重ねられて格納されたウェーハを1枚ずつ確実に取り出すことができるウェーハ取出装置の提供。【解決手段】まず、カセット10内に格納されたウェーハW、W、...をカセットから独立させて、水面上の所定位置まで上昇させる。そして、最上段に位置するウェーハWaを、その上方に待機していた吸着パッド55で吸着保持する。次に、前記吸着パッド55で吸着保持したウェーハWaを下降させ、洗浄水槽11内に浸漬させる。そして、洗浄液中で液体噴射ノズル62から前記吸着パッド55で吸着保持したウェーハWaに向けて洗浄液を噴射する。ここで、前記吸着パッド55で吸着保持したウェーハWaの下面に2段目以降のウェーハが吸着している場合は、前記噴射ノズル62から噴射された洗浄液の液流で、振るい落とされるので、振るい落としたのち、上昇させてウェーハWaを取り出す。

請求項（抜粋）：

水槽内に浸漬されたカセット内に多数積み重ねられて格納されたウェーハを1枚ずつ取り出すウェーハ取出装置において、前記カセット内に格納された多数枚のウェーハを、該カセットから独立させて昇降させる昇降手段と、前記カセット内に格納されたウェーハに対して進退移動自在に設けられ、前記昇降手段で液面から上昇させたウェーハの端面を吸着保持する吸着パッドと、前記吸着パッドで吸着保持された状態で前記水槽中に浸漬させたウェーハに向けて液体を噴射し、その噴射した液体の液流で前記吸着パッドで吸着保持したウェーハに吸着したウェーハを分離する噴射ノズルと、前記吸着パッドを備え、該吸着パッドで吸着保持したウェーハを所定の受渡位置に搬送する搬送手段と、からなることを特徴とするウェーハ取出装置。

IPC (3件)：

B65G 49/07 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 49/07 G ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/68 A