特許
J-GLOBAL ID：200903059403563242
サーマルインクジェット記録ヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 康夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-355519
公開番号（公開出願番号）：特開平6-183008
出願日： 1992年12月19日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：
【要約】【目的】 密着性および耐久性のある表面処理膜を有したサーマルインクジェット記録ヘッドを提供する。【構成】 チャネル溝2とインクリザーバ3を形成されたチャネル基板1は、シリコンウェハを用いる。ヒーター基板4は、シリコンウェハに、ヒーターや保護層、ドライバ素子等がLSI作製プロセスにより形成される。ピット基板5は、チャネル基板1と同じ材料のシリコンウェハを用い、チャネル基板1と同様に異方性エッチングによりウェハ面にピット部6およびバイパスピット部7が形成される。ピット基板にシリコンウェハを用いることにより、ノズル近傍の端面を同一材料で構成でき、耐久性の良好な表面処理膜が得られ、液滴の噴射方向性の維持性が良好となる。
請求項（抜粋）：
液滴を噴射させるための溝を有する第1の基板と、熱エネルギーを発生するための発熱素子を有する第2の基板、および前記第1の基板にそれと同じ材料で貫通穴が設けられた第3の基板を積層してなることを特徴とするサーマルインクジェット記録ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
