特許
J-GLOBAL ID：200903059406457427
試料冷却装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-052949
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241671
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】液体窒素等の液状冷却媒体を気化させ、この気化冷却媒体を吹き付けることにより試料を冷却する試料冷却装置において、最大冷却温度を下げ、冷却性能の向上を図るとともに、冷却媒体消費量を減少させて経済性を向上させる。【構成】液状の冷却媒体を加圧状態下にて貯留する冷却媒体封入容器と、気化した冷却媒体を先端開口部から噴出させるノズル孔を備えた冷却ノズル本体と、前記冷却ノズル本体の内部に形成され、前記ノズル孔と連通しており、かつ前記冷却媒体封入容器内の冷却媒体を配管を介して液状のまま受け入れる冷却媒体気化室と、前記冷却媒体封入容器から前記冷却媒体気化室内に送られてきた液状の冷却媒体を気化させる加熱手段とで構成する。
請求項（抜粋）：
液状の冷却媒体を加圧状態下にて貯留する冷却媒体封入容器と、気化した冷却媒体を先端開口部から噴出させるノズル孔を備えた冷却ノズル本体と、前記冷却ノズル本体の内部に形成され、前記ノズル孔と連通しており、かつ前記冷却媒体封入容器内の冷却媒体を配管を介して液状のまま受け入れる冷却媒体気化室と、前記冷却媒体封入容器から前記冷却媒体気化室内に送られてきた液状の冷却媒体を気化させる加熱手段と、を具備したことを特徴とする試料冷却装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
