特許
J-GLOBAL ID：200903059407468791
感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたパターン製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019420
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209614
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：
【要約】【課題】 水性の液により現像可能で、特に水溶液による現像性に優れ、優れた感光特性、特にi線での感光特性に優れ、高感度で、低露光量でも良好な形状のパターンが得られ、現像後の残膜率も高く、硬化膜特性にも優れる感光性ポリイミド前駆体組成物及びかかる組成物を用いた、製造工程の短縮が可能であり、製造コストが削減できるパターン製造方法を提供する。【解決手段】 感光性基及び酸性を示す基を有する感光性ポリイミド前駆体、感光剤及び所望により常圧において100°C以上の沸点を有する付加重合性化合物を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物を用いて塩基性水溶液に対する溶解速度が0.01〜0.5μm/secである被膜を形成し、該被膜にフォトマスクを介して光を照射し、該光照射後の被膜を塩基性水溶液を用いて現像する。
請求項（抜粋）：
感光性基及び酸性を示す基を有する感光性ポリイミド前駆体及び感光剤を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物であって、該組成物を塗布乾燥して形成される膜の塩基性水溶液に対する溶解速度が0.01〜0.5μm/secである、感光性ポリイミド前駆体組成物。
IPC (4件)：
C08L 79/08
, C08G 73/10
, H01L 21/027
, H01L 21/312
C08L 79/08 A
, C08G 73/10
, H01L 21/312 B
, H01L 21/312 D
, H01L 21/30 502 R
