電子線装置及び電子線縮小転写装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-027325
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190430
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】全体の球面収差を電子レンズで発生する球面収差より小さくする。【構成】放出される電子線に対して凹面形状のカソード1と、カソード1に対して凸面形状で電子線通過孔4cを有するアノード4と、カソード1から放出される電子線を集束させる集束電極2とよりなる電子銃と、電磁レンズ6とを有する。電磁レンズ6で発生する凸レンズの球面収差をその電子銃1,2,4で発生する凹レンズの球面収差で相殺させる。

請求項（抜粋）：

放出される電子線に対して凹面形状のカソードと、該カソードに対して凸面形状で電子線通過孔を有するアノードと、前記カソードから放出される電子線を集束させる集束電極とよりなる電子銃と、この電子銃から放出される電子線を集束する電子レンズとを有し、該電子レンズで発生する球面収差を前記電子銃で発生する球面収差で相殺させる事を特徴とする電子線装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 341 B , H01L 21/30 341 F

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭52-115161
特開平2-117502
特公昭45-021014

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