電子顕微鏡の試料冷却装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-011722
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208083
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】電子顕微鏡の試料を液体ヘリウムによって極低温(数K)に冷却して、観察、分析する専用ヘリウム冷却ステージを他の冷却温度として液体窒素による低温(数十K)でも使用できる電子顕微鏡の試料冷却装置を提供すること。【解決手段】試料を保持する試料保持部が中央部分に設けられ、前記試料保持部の外周に前記試料を冷却する冷媒を収容する冷媒溜が設けられた試料保持部材と、前記冷媒を2種貯蔵するため2つの冷媒タンクと、前記2つの冷媒タンクと前記冷媒溜とを連通する2つのキャピラリーを備え、前記冷媒溜に前記2種の冷媒を選択供給する機構が設けられていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料を保持する試料保持部が中央部分に設けられ、前記試料保持部の外周に前記試料を冷却する冷媒を収容する冷媒溜が設けられた試料保持部材と、前記冷媒を2種貯蔵するため2つの冷媒タンクと、前記2つの冷媒タンクと前記冷媒溜とを連通する2つのキャピラリーを備え、前記冷媒溜に前記2種の冷媒を選択供給する機構が設けられていることを特徴とする電子顕微鏡の試料冷却装置。

Fターム (3件)：

5C001AA01 , 5C001BB02 , 5C001CC02

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