特許
J-GLOBAL ID：200903059415855303
コンタミネーション低減装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283538
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110346
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、走査型電子顕微鏡の試料室に設けて電子ビームで真空中に配置した試料を走査したときに発生するコンタミネーションを低減するコンタミネーション低減装置に関し、走査型電子顕微鏡において、試料と対物レンズの下面との距離WDの間にコールドトラップ板を挿入するスペースがない数mm程度でも試料に対するコンタミネーションの低減と、低加速電圧時の高分解能の画像観察とを両立させることを目的とする。【解決手段】 細く絞った電子ビームを照射して発生した2次電子などを検出して画像を表示する対象の試料と、電子ビームを細く絞って試料面上に照射させる対物レンズと、対物レンズの下面と試料との距離WDよりも当該試料の上面からの距離Wに等しいあるいは大きい位置に配置した平らな円のリング状あるいは平らな多角形のリング状のコールドトラップ板と、コールドトラップ板に接続して冷却する冷却器とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡の試料室に設けて電子ビームで真空中に配置した試料を走査したときに発生するコンタミネーションを低減するコンタミネーション低減装置において、細く絞った電子ビームを照射して発生した2次電子などを検出して画像を表示する対象の試料と、電子ビームを細く絞って上記試料面上に照射させる対物レンズと、上記対物レンズの下面と試料との距離WDよりも当該試料の上面からの距離Wに等しいあるいは大きい位置に配置した平らな円のリング状あるいは平らな多角形のリング状のコールドトラップ板と、上記コールドトラップ板に接続して冷却する冷却器とを備えたことを特徴とするコンタミネーション低減装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/18
, H01J 37/28 B
