特許
J-GLOBAL ID:200903059417644148
光ビームの変調
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山川 政樹 (外5名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-519456
公開番号(公開出願番号):特表2002-503351
出願日: 1993年04月28日
公開日(公表日): 2002年01月29日
要約:
【要約】入射光ビームを変調器(10)において、変調器は複数の等間隔で離間した素子(18)を具備し、各々の素子は平坦な光反射面(22)を含む。素子(18)は互いに平行に、その光反射面(22)が互いに平行となる状態で配列されている。変調器は、素子を互いに関連して支持する手段(20)と、変調器が平面鏡として入射光線を反射するように動作する第1の構成と、反射されるときの入射光線を回折させる第2の構成との間で素子が移動するように素子を互いに対して移動させる手段とを含む。動作中、素子(18)の光反射面(22)は第1の構成と第2の構成の双方で互いに平行なままであり、隣接する素子の反射面の垂直間隔は入射光線の波長のm/4と等しく、素子(18)が第1の構成にあるとき、m=整数の偶数又は零であり、素子(18)が第2の構成にあるときには、m=奇数である。
請求項(抜粋):
入射光線を変調する変調器において、 各々が平坦な光反射面を含み、互いに平行に且つ光反射面が互いに平行である状態で配列されている複数の等間隔で離間したビーム素子と、 ビーム素子を互いに関連させて支持する手段と、 変調器が平面鏡として入射光線を反射するように作用する第1の構成と、変調器が反射されるときの入射光線を回折する第2の構成との間でビーム素子を移動させる手段とを具備する変調器。
IPC (2件):
FI (2件):
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