特許
J-GLOBAL ID:200903059417971173

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ及びホルダマウント

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-173766
公開番号(公開出願番号):特開平10-019905
出願日: 1996年07月03日
公開日(公表日): 1998年01月23日
要約:
【要約】【課題】カンチレバーを所定位置にセットするまでの間、カンチレバーを格納して保護するカンチレバーホルダ、及び、カンチレバーホルダが取り付けられた際に、カンチレバーを所定位置にセットするホルダマウントを提供する。【解決手段】カンチレバーホルダ24は、走査型プローブ顕微鏡(SPM)のホルダマウント26に取り付け可能なカンチレバー保護部材4と、カンチレバーをSPMの所定位置にセットするまでの間、カンチレバーがカンチレバー保護部材内に格納され且つ保護されるように、カンチレバーを保持する弾性変形自在な板ばね6とを備える。ホルダマウントは、カンチレバーホルダが着脱自在に取り付け可能なマウント部18と、マウント部にカンチレバーホルダが取り付けられた際にカンチレバーをSPMの所定位置にセットするように、板ばねを押圧してカンチレバーをカンチレバー保護部材の外側に押し出す押圧部20とを備える。
請求項(抜粋):
走査型プローブ顕微鏡の所定位置にセットするカンチレバーを保持した走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダであって、この走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダには、前記走査型プローブ顕微鏡に取り付け可能なカンチレバー保護部材と、前記カンチレバーを前記走査型プローブ顕微鏡の所定位置にセットするまでの間、前記カンチレバーが前記カンチレバー保護部材内に格納され且つ保護されるように、前記カンチレバーを保持する弾性変形自在な弾性保持部材とが設けられていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ。
IPC (2件):
G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (3件):
G01N 37/00 A ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z

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