特許

J-GLOBAL ID：200903059418069198

形状測定装置

発明者： 岡沢 泰夫 ,  田中 秀規
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096132
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306034
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 形状測定装置において、測定データ量を増やすことなく、機構部の振動や電気ノイズによる測定値のばらつきや、被測定物の表面粗さによる形状測定値のばらつきを除去し、かつ所望の測定精度を得る事のできる形状測定装置を提供する。【構成】 測定端子14の相対位置信号を滑らかにする、位置スムージング部と、測定端子出力信号を滑らかにする、測定端子出力信号スムージング部34とを有する事を特徴とする。

請求項（抜粋）：

設計位置と実際の位置との差分に相当する第1信号を出力する測定端子と、該測定端子を被測定物の測定面に沿って設計値に基づき移動させる移動機構と、基準点と前記測定端子との相対位置に相当する第2信号を出力する位置測定器と、所定の時間毎又は距離毎に記憶トリガー信号を発生する記憶信号発生部と、前記記憶トリガー信号により前記第1信号と前記第2信号とを記憶する記憶部と、記憶された前記第1信号と前記第2信号との和から「前記相対位置の設計値」を引いた差分を被測定物の形状誤差として算出する形状誤差算出部とからなる形状測定装置において、所定の時間毎又は距離毎に入力トリガー信号を発生する入力信号発生部と、前記入力トリガー信号に同期して入力した前記第1信号を滑らかにし、前記記憶トリガー信号に同期して前記滑らかにした第1信号を記憶部へ出力する第1信号スムージング部と、前記入力トリガー信号に同期して入力した前記第2信号を滑らかにし、前記記憶トリガー信号に同期して前記滑らかにした第2信号を記憶部へ出力する第2信号スムージング部とを設けたことを特徴とする形状測定装置。