特許
J-GLOBAL ID:200903059425726811

θ-θスキャン型X線装置及びそのX線装置のためのゴニオ初期位置設定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 横川 邦明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-332152
公開番号(公開出願番号):特開平8-166361
出願日: 1994年12月12日
公開日(公表日): 1996年06月25日
要約:
【要約】【目的】 試料を中心としてX線源及びX線カウンタの両方を回転させる形式のθ-θスキャン型X線装置において、X線ビームを液体試料に対して常に一定の初期位置に安定して位置設定できるようにする。【構成】 ゴニオ中心ωを中心として回転移動するX線源Sと、ゴニオ中心ωを中心として回転移動するX線カウンタ3と、液体試料Sa を支持する試料支持台13とを有するθ-θスキャン型X線装置である。X線源SとX線カウンタ3とがゴニオ中心ωを中心として互いに等しい角度で同じ方向へ同期して回転移動するように、つまりX線源とX線カウンタのうちの一方を本測定時とは逆方向にスキャンさせるようにX線源及びX線カウンタの回転動作を制御するゴニオ制御部18を設ける。また、試料Sa をゴニオ中心ωに対して昇降移動させる駆動装置17を設ける。
請求項(抜粋):
ゴニオ中心を中心として回転移動するX線源と、ゴニオ中心を中心として回転移動するX線カウンタと、試料をゴニオ中心の近傍に支持する試料支持手段とを有するθ-θスキャン型X線装置において、X線源とX線カウンタとがゴニオ中心を中心として互いに等しい角度で同じ方向へ同期して回転移動するようにそれらの回転動作を制御するゴニオ制御部と、ゴニオ中心に対して試料を平行移動させる試料平行移動手段とを有することを特徴とするθ-θスキャン型X線装置。
IPC (2件):
G01N 23/207 ,  G21K 1/06

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