特許
J-GLOBAL ID：200903059428282450
連続式焼成炉の制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-298014
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123563
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ヒータの昇温・降温の遅れによる変動をなくし、所望の温度プロファイルにより焼成条件の均一化を可能とする。【構成】 複数のゾーンに配置されたヒータ20a〜20hの発熱量を制御するため、制御装置50は、連続式焼成炉10内に搬入されるセラミック基板100の枚数や学習結果により、各ゾーンにおける温度の経時変化を求め(S2)、前記温度の経時変化から各ゾーンのヒータ20a〜20hが出力すべき熱量の経時的変化を算出する(S3)。この算出された各ゾーンのヒータ発熱量に基づいて熱出力を制御することにより、ヒータによる炉内温度の昇温・降温の遅れをなくして炉内温度の変動を抑制し、炉内温度の制御を行う。
請求項（抜粋）：
複数の区画に分画され、各々の区画にヒータが設置された連続式焼成炉の制御方法であって、搬入される被取扱基板によって各区画における温度の経時変化を求める過程と、前記各区画における温度の経時変化の情報から当該区画に設置されたヒータが出力すべき熱量の経時的変化を算出する過程と、前記ヒータが出力すべき熱量の経時的変化の算出結果に基づいて当該ヒータの熱出力を制御する制御系を制御する過程とからなることを特徴とする連続式焼成炉の制御方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
