特許
J-GLOBAL ID：200903059432638251
真空ユニツト
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-226310
公開番号（公開出願番号）：特開平5-069997
出願日： 1991年09月06日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】真空ユニット内部における故障個所を特定できる真空ユニットを提供することを目的とする。【構成】真空ユニット50において、供給弁62、真空破壊弁64、エゼクタ54、サイレンサ72、フィルタ70、ワーク吸着盤12等の構成要素の少なくとも上流側、あるいは下流側のいずれか一方に圧力センサ74、76、78、80、82を設け、前記構成要素の上流側の圧力に対して、下流側、あるいは上流側と下流側の差圧の変動により設定された圧力の閾値を超えた場合、故障個所を特定し、モニタ等に表示することができる。したがって、真空ユニット50に作動不良が生じた際に、素早く故障個所を交換できる。
請求項（抜粋）：
弁体、エゼクタ、サイレンサ、フィルタ等の構成要素を所定の流路によって連通させている真空ユニットであって、所望の圧力値を設定する設定手段と、少なくとも一つの前記構成要素の上流側、下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサと、前記圧力センサから導出される圧力値と前記設定手段で設定された圧力値を比較し、その比較結果に基づき故障個所を表示する手段と、を設けることを特徴とする真空ユニット。
IPC (4件)：
B65H 7/16
, B25J 15/06
, B65H 3/08 360
, F15B 20/00
出願人引用 (2件)
-
特開昭63-154900
-
特開昭54-050767
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
