特許
J-GLOBAL ID：200903059445274380
アラームロギングデータ表示装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-293245
公開番号（公開出願番号）：特開平11-119960
出願日： 1997年10月09日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 基板処理装置で発生したアラームを種別毎に自動的に計数して、アラームの種別毎の発生傾向をディスプレイ画面上に表示出力する。【解決手段】 アラームロギングデータ表示装置6では、基板処理装置から報告されたアラームをその発生時刻及び種別に対応付けたレコードとしてメモリ9に蓄積保持しておき、オペレータによる種別及び期間の指定を入力部10から受け付けると、指定された種別及び期間に該当するレコードを読み込み部11がメモリ9から読み出し、読み出されたレコードに基づいて指定種別毎のアラーム発生回数を統計分析部13が計数して、表示制御部16が計数されたアラーム発生回数をその種別毎にディスプレイ画面15に表示出力する。これにより、オペレータは、同種類のアラーム報告の数を数えなければならないなどと言った煩雑な作業を行うことなく、必要な時に必要な種別及び期間の故障発生傾向を把握することができる。
請求項（抜粋）：
基板処理装置から報告されたアラームのロギングデータをディスプレイ画面に表示出力するアラームロギングデータ表示装置であって、基板処理装置から報告されたアラームに基づいてその種別毎の発生回数を計数する統計分析手段と、計数されたアラーム発生回数をその種別毎にディスプレイ画面に表示出力する表示制御手段と、を備えたことを特徴とするアラームロギングデータ表示装置。
IPC (3件)：
G06F 3/14 320
, H01L 21/02
, H01L 21/68
G06F 3/14 320 C
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/68 A
