特許

J-GLOBAL ID：200903059448356361

位相データのアンラップ方法及びその装置

発明者： 森本 勉 ,  米田 康司
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-028949
公開番号（公開出願番号）：特開2003-232605
出願日： 2002年02月06日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】 ノイズや局所的な凹凸のある被検体,或いは入射光に対する傾きを有する被検体を測定する場合でも,位相データを正しくアンラップできること。【解決手段】 位相データの1つである基準点Pと,3つ以上の近傍点Qについて,位相差が±π以内に収まるよう局所アンラップ(S2)し,点Pの位相データと点Qの局所アンラップデータとの近似面を表すフィッティング式との誤差が許容誤差を越える場合に点Pを無効データと判定(S5)し,この判定を近傍点Qの1つを新たな基準点Pとして順次繰り返し,全データの有効・無効の判定をした後,有効データの1つである基準点Aのフィッティング式により,その近傍点のさらに近傍点Cの外挿値を求め,該外挿値との位相差が±π以内に収まるよう点Cをアンラップ(S8)し,基準点Aの近傍点を新たな基準点Aとして順次同様のアンラップを繰り返して全有効データをアンラップする。

請求項（抜粋）：

干渉計によって得られる2次元の位相データのアンラップを行う位相データのアンラップ方法において,前記位相データのうちの所定の1つである基準位相データとその近傍の少なくとも3つ以上の前記位相データについて,前記基準位相データとの差が所定の位相差の範囲内に収まるように2πの整数倍だけ補正したデータである局所アンラップデータを求める局所アンラップ手順と,前記基準位相データ及び前記局所アンラップデータに近似する2変数のフィッティング式を求めるフィッティング式算出手順と,前記フィッティング式と前記基準位相データ及び前記局所アンラップデータとのフィッティング誤差を求めるフィッティング誤差算出手順と,前記フィッティング誤差が所定の許容誤差を越える場合に前記基準位相データを無効データと判定し,そうでない場合に前記基準位相データを有効データと判定する有効・無効判定手順とを有し,前記局所アンラップデータの1つを前記基準位相データとして前記局所アンラップ手順,フィッティング式算出手順,フィッティング誤差算出手順,及び前記有効・無効判定手順を実行し,これを順次繰り返すことによって全ての前記位相データについて有効又は無効の判定を行った後,前記有効データのみについてアンラップを行う位相データのアンラップ方法。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D

Fターム (32件)：

2F064AA09 ,  2F064CC03 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG23 ,  2F064GG52 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA53 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065DD11 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065FF61 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL37 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31