特許
J-GLOBAL ID：200903059448801403
走査型光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-282787
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073766
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【目的】 光の回折限界を超えた分解能と高コントラストを有する走査型光学顕微鏡を得る。〔構成〕 試料を透過した光ビーム分割器で分割し、一方の光路間に位相板を設置し、再度光を合成して干渉光を得る。
請求項（抜粋）：
光を集束して得られる焦点光で試料を照射し、試料で反射又は透過した光を光ビーム分割器で少なくとも2分割し、分割された光ビームの光路を曲げ、分割された光ビームを干渉さして光検出器で検出する機構を有し、分割した光の少なくとも一方の光路間に位相板を設置したことを特徴とする走査型光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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