特許
J-GLOBAL ID：200903059449327039
複合顕微鏡の導電性カンチレバ-とホルダ-
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-230487
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068802
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡と静電容量顕微鏡を合体した顕微鏡を作ろうとすると、センサ部分に導電性のカンチレバ-を必要とする。カンチレバ-の先端下部に探針を設け、探針と試料との間の静電容量を検出する。しかしカンチレバ-の全体、ホルダ-の全体を金属にすると、これらと試料の間の静電容量が大きくなり、探針と試料の間の容量変化を検出することができない。探針・試料間の容量変化を正確に測定できるようにすることが目的である。【構成】 ホルダ-の全体を絶縁体で作り一部に金属線を形成する。ホルダ-と試料間の容量が減少する。金属製のカンチレバ-に穴を穿ち面積を減らす。縦穴や三角形のカンチレバ-の形状に対応した穴を穿つ。或いは絶縁性のカンチレバ-に細い金属線を蒸着する。これによりカンチレバ-の容量を減らすことができる。カンチレバ-やホルダ-と試料間の容量が少なくなるので、探針と試料間の容量の変化を検知することができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも走査型静電容量顕微鏡と原子間力顕微鏡の機能を合体した複合顕微鏡の、試料に対向し試料原子との間に働く原子間力によって撓む導電性のカンチレバ-を支持するホルダ-であって、絶縁物でできており、細い金属線がコ-トされ、金属線の先端がカンチレバ-に接続されていることを特徴とする複合顕微鏡の導電性カンチレバ-とホルダ-。
IPC (5件)：
G01N 37/00
, G01B 7/00
, G01B 7/14
, G01B 21/30
, H01J 37/28
